Equipo de proceso semiconductor
Herramientas de grafito de alta pureza en semiconductores, semiconductores compuestos e industria fotovoltaica.
Epitaxy y MOCVD:
Para fases de sedimentación de película delgada como epitaxy o MOCVD, Mersen ofrece equipos de grafito ultrapuro útil para soportar los substratos y obleas. En el punto central del proceso, este equipo, los susceptores epitaxy o las plataformas de satélite para el MOCVD, se someten primero al entorno de sedimentación:
- Alta temperatura
- Alto vacío.
- Uso de precursores gaseosos agresivos.
- Cero contaminación, ausencia de peeling.
- Resistencia a ácidos fuertes durante las operaciones de limpieza.