Aislamiento: fabricación de polisilicio

reactor de sedimentación de proceso Siemens Mersen

Aislamiento de alta temperatura en proceso de producción de silicio

La industria del polisilicio debe cumplir ciertas requisitos y reducir sus costes.

La amplia gama de productos Mersen tiene como objetivo cumplir estos objetivos:

Garantizar el polisilicio de alta pureza 9N como punto de referencia, y alcanzar la pureza 10N en un futuro cercano.
Reducir los costes de mantenimiento mediante el uso de equipos sostenibles.
Reducir los costes de energía del proceso.

Equipos y consumibles - fabricación de polisilicio

Proponemos equipos y consumibles dedicados a la industria de fabricación de polisilicio:

Electrodos de grafito ultrapuros.
Calentadores de grafito de composite y ultrapuros.
Composite ultrapuro, grandes dimensiones y cilindros de grafito.
Carbono rígido purificado y aislamiento de fieltro flexible.

Convertidos: Reactor de reciclaje STC (SiCl4) por hidrogenación a alta temperatura

Durante los procesos de sedimentación, buena parte del gas se transforma en STC (SiCl4). Para aumentar el rendimiento, este STC debe reciclarse como TCS en un reactor de hidrogenación a alta temperatura a unos 1.500 C.

Mersen es líder reconocido en este mercadodebido a su oferta particularmente competitiva y completa:

Cilindro de grafito ultrapuro de hasta 1,5 m de diámetro.
Recubrimientos especiales para mejorar la vida útil.
Aislamiento térmico realizado con carbono rígido purificado de alto rendimiento.
Calentador y placa de composite de carbono/carbono.
Reactor de lecho fluidizado de aislamiento Mersen.

Reactor de lecho fluidizado

Dentro de la cámara de cuarzo del reactor, los microgranos de silicio se descargan en un flujo opuesto de silano. El reactor y la entrada de gas se calientan mediante un calentador de grafito y se aislan con fieltro rígido. El silano se descompone en silicio y expande microgranos. El silicio puro se recupera en forma granular.

El reactor de sedimentación de proceso Siemens:

La cámara de reactor de cuarzo contiene barras de silicio muy finas en forma de U montadas en los electrodos de grafito purificados. Las barras de silicio se calientan debido a la corriente eléctrica que suministran los electrodos de grafito. El triclorosilano gaseoso SiHCl3 (TCS) penetra en la cámara de sedimentación a alta temperatura y se descompone, depositando silicio puro en las barras calientes.

Cuando finaliza el proceso de sedimentación, las barras de silicio se retiran del reactor y se rompen para recuperar el polisilicio.

Mersen suministra electrodos de grafito ultrapuros, que se utilizan como desechables para este proceso.