Grafito purificado: fabricación de polisilicio

Proponemos equipos y consumibles dedicados a la industria de fabricación de polisilicio:

La cámara de reactor de cuarzo contiene barras de silicio muy finas en forma de U montadas en los electrodos de grafito purificados. Las barras de silicio se calientan debido a la corriente eléctrica que suministran los electrodos de grafito. El triclorosilano gaseoso SiHCl3 (TCS) penetra en la cámara de sedimentación a alta temperatura y se descompone, depositando silicio puro en las barras calientes.

Cuando finaliza el proceso de sedimentación, las barras de silicio se retiran del reactor y se rompen para recuperar el polisilicio.

Mersen suministra electrodos de grafito ultrapuros, que se utilizan como desechables para este proceso.

Dentro de la cámara de cuarzo del reactor, los microgranos de silicio se descargan en un flujo opuesto de silano. El reactor y la entrada de gas se calientan mediante un calentador de grafito y se aislan con fieltro rígido. El silano se descompone en silicio y expande microgranos. El silicio puro se recupera en forma granular.

Durante los procesos de sedimentación, buena parte del gas se transforma en STC (SiCl4). Para aumentar el rendimiento, este STC debe reciclarse como TCS en un reactor de hidrogenación a alta temperatura a unos 1.500 C.

Mersen es líder reconocido en este mercadodebido a su oferta particularmente competitiva y completa: