EOM semiconductores y optomecánicos

Las soluciones SiC de BOOSTEC^® se utilizan donde se requiere ultraprecisión, en:

• Procesos industriales con semiconductores.
• Máquinas de litografía extrema ultravioleta.
• Instrumentos de medición avanzada para superficies ópticas.
• Ultra-alto vacío.
• Equipo científico.

Solución SiC de Boostec®

• Opciones de configuración de solución SiC de Boostec^® abiertas.
• Elevada resistencia mecánica y ausencia de agotamiento mecánico.
• Isotropía excelente del material de SiC.
• Acabado pulible perfecto que puede usarse como referencia óptica.
• Estabilidad perfecta a lo largo del tiempo.
• Hermético frente a agua y gas, sin desgasificación, sin absorción de humedad.
• Resistencia al desgaste.

Experiencia en fabricación y diseño de Boostec

• Experiencia única en fabricación de estructuras ultraestables de 3 metros.
• Posibilidad de solución integrada en una pieza única: sistema de cojinetes, refrigeración con canales internos, espejo.
• Desde piezas monolíticas de SiC hasta montajes complejos, Mersen Boostec fabrica bancos, placas base, vigas, estructuras deslizantes muy estables para mandriles con posicionamiento rápido y preciso.